技术方案


一、半导体行业(Semiconductor)
二、太阳能行业(Solar)
三、LED行业
四、TFT行业

二、太阳能行业(Solar)

  根据世界能源权威机构分析,世界已探明的主要矿物燃料储量和开采储量不容世人乐观。石油剩余可采年限仅有41年,其年占世界能源总消耗量的40.5%;天然气剩余可采年限61.9年,其年占世界能源消耗的25.2%;铀剩余可采年限73年,其年占世界能源总消耗量的7.6%;另有水力,其年占世界能源总消耗量的2.6%。所以人们需要发现新的能源以取代现有能源的开采,其中太阳能为其中发现重要能源之一。地球每天接受太阳能,相当于整个世界一年所消耗总能量的200倍,所以这是个有很大利用空间的清洁,可永远使用的能源。

太阳能电池主要原理就是受到阳光照射后,把光能转变为电能,其工作原理基础是半导体PN结的光生伏打效应。其主要工艺包含:铸锭(拉棒)、切片、电池片生产、组建、组装成系统。

而其中最主要用到气体的地方为电池片生产工艺,其主要工艺为:清洗、扩散、刻蚀、制绒、PECVD、丝印烧结等。

特点:气体种类少,硅烷和氨气用量比较大,大宗气体用量不大,气体品质要求不高,一般只需要达到7N。

学术界和产业界普遍认为太阳能电池的发展已经进入了第三代。第一代为单晶硅太阳能电池,第二代为多晶硅、非晶硅等太阳能电池,第三代太阳能电池就是铜铟镓硒CIGS(CIS中掺入Ga)等化合物薄膜太阳能电池及薄膜Si系太阳能电池。

使用到气体种类:

Bulk Gas: N2、O2、H2、Ar、He、CDA
ESG: SiH4、NH3、PH3、TMB、CH4、NF3、CF4 etc。