LED（Light Emitting Diode），发光二极管，是一种固态的半导体器件，它可以直接把电转化为光。LED的心脏是一个半导体的晶片，晶片的一端附在一个支架上，一端是负极，另一端连接电源的正极，使整个晶片被环氧树脂封装起来。半导体晶片由两部分组成，一部分是P型半导体，在它里面空穴占主导地位，另一端是N型半导体，在这边主要是电子。但这两种半导体连接起来的时候，它们之间就形成一个P-N结。当电流通过导线作用于这个晶片的时候，电子就会被推向P区，在P区里电子跟空穴复合，然后就会以光子的形式发出能量，这就是LED发光的原理。而光的波长也就是光的颜色，是由形成P-N结的材料决定的。

LED按产业链关系细分成五个部分：原材料、LED上游产业（外延芯片）、LED中游产业（器件封装）、LED下游产业（集成应用）、测试仪器和生产设备。

特点：气体种类也比较多，但比半导体少，氨气和氢气用量非常大，大宗气体用量适中，气体品质要求较高，一般只需要达到9N。

使用到气体种类：

Bulk Gas: N2、H2、CDA
ESG: NH3、Cl2、BCl3、SF6、Ar、He、O2、SiH4、N2O、C2F6、SiH4/H2、H2/N2、Si2H6/H2、AsH3、PH3 etc。